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De: Traduction automatique
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mehrfache ladungsschleuse
multiple load lock system
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 2
Qualité :
ladungsschleuse und wafertransportsysteme.
load-lock unit and wafer transfer system.
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 4
Qualité :
duale wafer ladungsschleuse
dual wafer load lock
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 2
Qualité :
ladungsschleuse mit äusserer ladungsgebiet
load-lock with external staging area
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 2
Qualité :
tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse
door drive mechanisms for substrate carrier and load lock
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 2
Qualité :
vorrichtung und verfahren für ladungsschleuse in der halbleiterfertigung
device and method for load locking for semiconductor processing
Dernière mise à jour : 2014-11-28
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Qualité :
ladungsschleuse mit mikroumgebung und methode zur kupplung von einem mikroumgebungsbehälter mit einer prozesskammer.
micro-environment load lock and method for coupling a micro-environment container to a process chamber.
Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 2
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