Trying to learn how to translate from the human translation examples.
From: Machine Translation
Suggest a better translation
Quality:
From professional translators, enterprises, web pages and freely available translation repositories.
polierschlamm nach anspruch 1, der ein polierschlamm für einen zwischenschichtisolierfilm zum polieren eines halbleiters ist, umfassend 10 bis 50 gew.-% quarzstaub mit einer durchschnittlichen primärteilchengröße von 9 bis 20 nm und 90 bis 50 gew.-% des sphärischen siliziumdioxids mit einer durchschnittlichen primärteilchengröße von 60 bis 300 nm als verhältnis zu den gesamten siliziumdioxiden.
the polishing slurry as described in claim 1, being a polishing slurry for an interlayer insulating film in polishing a semiconductor and comprising 10 to 50 % by weight of the fumed silica having an average primary particle size of 9 to 20 nm and 90 to 50 % by weight of the spherical silica having an average primary particle size of 60 to 300 nm in terms of a proportion to the whole silicas.
Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 3
Quality: