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uhv (vacío ul miniaturización de circuitos.
europe's ability to compete in a domain
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141 256 tecnología de película fina uhv semiconductor processing software process improvement mejora del proceso de desarrollo
222, 386 234 waler stepper waste-gas disposal apparatus water management welding wireless networking wireless networks282 workflow management systems shopfloor data updating systems 224,246 silicon technology 1 54 simulation 6, 18, 20, 28. 152, 162, 164, 218, 246, 406.
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también puede verse aquí parte del aparato, la stm integrada y una superficie limpia de silicio preparada para el procesamiento al uhv.
it has been presented to major companies in the german automotive industry, where it has generated great interest.
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consiste en una es tación para la deposición de metal a uhv, oxidación ultraseca y bombardeo con rayos iónicos, que promete sentar las bases para un mayor rendimiento y eficacia en la producción futura de silicio.
coupling robot grinding with automated visual inspection is an innovative step which, after two years of intensive research, has led to successful results.
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palabras clave: procesado de semiconductores uhv; herramientas de agrupación;fabricación cmos, ulsi, ulsi' superficies a escala atomica los socios. la participación europea ha aum entado significativamente en un programa
keywords: atomic-scale surfaces; cluster tools: cmos fabrication; uhv semiconductor processing; ulsi cantly in an industrial affiliation programme on ultra-clean processing set up by imec.
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