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uhv (vacío ul­ miniaturización de circuitos.
europe's ability to compete in a domain

141 256 tecnología de película fina uhv semiconductor processing software process improvement mejora del proceso de desarrollo
222, 386 234 waler stepper waste-gas disposal apparatus water management welding wireless networking wireless networks282 workflow management systems shopfloor data updating systems 224,246 silicon technology 1 54 simulation 6, 18, 20, 28. 152, 162, 164, 218, 246, 406.

tam­bién puede verse aquí parte del aparato, la stm integrada y una superficie limpia de sili­cio preparada para el procesamiento al uhv.
it has been presented to major companies in the german automotive industry, where it has generated great interest.

consiste en una es tación para la deposición de metal a uhv, oxidación ultraseca y bombardeo con rayos iónicos, que promete sentar las bases para un mayor rendimiento y eficacia en la producción futura de silicio.
coupling robot grinding with automated visual inspection is an innovative step which, after two years of intensive research, has led to successful results.

palabras clave: procesado de semiconductores uhv; herramientas de agrupación;fabricación cmos, ulsi, ulsi' superficies a escala atomica los socios. la participación europea ha aum­ entado significativamente en un programa
keywords: atomic-scale surfaces; cluster tools: cmos fabrication; uhv semiconductor processing; ulsi cantly in an industrial affiliation programme on ultra-clean processing set up by imec.