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beheizen eines substrattrÄgers in einem substratbehandlungsraum
heating a substrate support in a substrate handling chamber
Última actualización: 2014-11-28
Frecuencia de uso: 2
Calidad:
vorrichtung zum direkten beheizen eines substratträgers.
method for direct heating of a substrate holder.
Última actualización: 2014-11-28
Frecuencia de uso: 2
Calidad:
der maskenhalterahmen 9 kann hierbei in jeder geeigneten weise an der substrathalteplatte des substratträgers 2, insbesondere lösbar befestigt sein.
the mask-holding frame may in this regard be attached in any suitable manner, especially releasably, to the substrate-holding plate of the substrate carrier .
Última actualización: 2014-12-03
Frecuencia de uso: 2
Calidad:
auf grund der antriebe 12, 13, 14 und 16 kann somit die halteplatte 8 in jede beliebige position bezüglich des substratträgers 2 gebracht werden.
on account of the drives , , and , the holding plate can thus be brought into any position relative to the substrate carrier .
Última actualización: 2014-12-03
Frecuencia de uso: 2
Calidad: