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substratträgers

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Alemão

Inglês

Informações

Alemão

beheizen eines substrattrÄgers in einem substratbehandlungsraum

Inglês

heating a substrate support in a substrate handling chamber

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

vorrichtung zum direkten beheizen eines substratträgers.

Inglês

method for direct heating of a substrate holder.

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

der maskenhalterahmen 9 kann hierbei in jeder geeigneten weise an der substrathalteplatte des substratträgers 2, insbesondere lösbar befestigt sein.

Inglês

the mask-holding frame may in this regard be attached in any suitable manner, especially releasably, to the substrate-holding plate of the substrate carrier .

Última atualização: 2014-12-03
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

auf grund der antriebe 12, 13, 14 und 16 kann somit die halteplatte 8 in jede beliebige position bezüglich des substratträgers 2 gebracht werden.

Inglês

on account of the drives , , and , the holding plate can thus be brought into any position relative to the substrate carrier .

Última atualização: 2014-12-03
Frequência de uso: 2
Qualidade:

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