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load lock
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schleuse
Dernière mise à jour : 2014-11-14 Fréquence d'utilisation : 10 Qualité : Référence: IATE
load lock for rack
lastverriegelung fÜr ein gestell
Dernière mise à jour : 2014-11-28 Fréquence d'utilisation : 2 Qualité : Référence: IATE
load-lock equipment
ausrüstung mit ladeschleusen
Dernière mise à jour : 2014-11-15 Fréquence d'utilisation : 5 Qualité : Référence: IATE
dual wafer load lock
duale wafer ladungsschleuse
multiple load lock system
mehrfache ladungsschleuse
load lock pumping mechanism.
absaugvorrichtung für schleusenkammer.
enclosure for load lock interface.
gehäuse für ladungsschleuseinterface.
multi-position load lock chamber
mehrfachstellungs lade/verschlusskammer
load lock optimization method and system
lastverriegelungsoptimierungsverfahren und system
load lock vacuum conductance limiting aperture
lastverriegelungs-vakuumleitfÄhigkeitsbegrenzungsapertur
double dual slot load lock for process equipment
zweifachladungsschleusenvorrichtung mit doppelschlitz fÜr prozessanlage
load-lock unit and wafer transfer system.
ladungsschleuse und wafertransportsysteme.
Dernière mise à jour : 2014-11-28 Fréquence d'utilisation : 4 Qualité : Référence: IATE
a load lock system enables permanent high vacuum.
ein schleusensystem ermöglicht ein gleichbleibend hohes vakuum.
Dernière mise à jour : 2018-02-13 Fréquence d'utilisation : 1 Qualité : Référence: IATE
door drive mechanisms for substrate carrier and load lock
tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse
load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus.
ladungsschleusenkamer fÜr eine vertikale wÄrmebehandlungseinrichtung.
load lock chamber for large area substrate processing system
ladungsschleusenkamer für ein verarbeitungssystem für grossflächige substrate
load-lock vacuum chamber for etching silicon wafers.
vakuumkammer zum Ätzen von silicium mit lade- und dichtungssystem.
combination differential and absolute pressure transducer for load lock control
differentialkombination und absolutdruckwandler zur kontrolle von ladungsschleusen
lithographic projection assembly, load lock and method for transferring objects
lithographische projektionsanordnung, schleuseneinrichtung und verfahren zur Übertragung von gegenständen
load-lock device for transferring substrates in and out of a treatment chamber
schleuseneinrichtung zum ein- und/oder ausbringen von substraten in und/oder aus einer behandlungskammer
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