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load lock
schleuse

load lock for rack
lastverriegelung fÜr ein gestell

load-lock equipment
ausrüstung mit ladeschleusen

dual wafer load lock
duale wafer ladungsschleuse

multiple load lock system
mehrfache ladungsschleuse

load lock pumping mechanism.
absaugvorrichtung für schleusenkammer.

enclosure for load lock interface.
gehäuse für ladungsschleuseinterface.

multi-position load lock chamber
mehrfachstellungs lade/verschlusskammer

load lock optimization method and system
lastverriegelungsoptimierungsverfahren und system

load lock vacuum conductance limiting aperture
lastverriegelungs-vakuumleitfÄhigkeitsbegrenzungsapertur

double dual slot load lock for process equipment
zweifachladungsschleusenvorrichtung mit doppelschlitz fÜr prozessanlage

load-lock unit and wafer transfer system.
ladungsschleuse und wafertransportsysteme.

a load lock system enables permanent high vacuum.
ein schleusensystem ermöglicht ein gleichbleibend hohes vakuum.

door drive mechanisms for substrate carrier and load lock
tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse

load lock chamber for vertical type heat treatment apparatus.
ladungsschleusenkamer fÜr eine vertikale wÄrmebehandlungseinrichtung.

load lock chamber for large area substrate processing system
ladungsschleusenkamer für ein verarbeitungssystem für grossflächige substrate

load-lock vacuum chamber for etching silicon wafers.
vakuumkammer zum Ätzen von silicium mit lade- und dichtungssystem.

combination differential and absolute pressure transducer for load lock control
differentialkombination und absolutdruckwandler zur kontrolle von ladungsschleusen

lithographic projection assembly, load lock and method for transferring objects
lithographische projektionsanordnung, schleuseneinrichtung und verfahren zur Übertragung von gegenständen

load-lock device for transferring substrates in and out of a treatment chamber
schleuseneinrichtung zum ein- und/oder ausbringen von substraten in und/oder aus einer behandlungskammer