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elektronenstrahllithographiegerät.
electron-beam lithographic apparatus.
Laatste Update: 2014-11-28
Gebruiksfrequentie: 2
Kwaliteit:
polarisierungsweise der dioden eines elektronendetektors zur verbesserung des schreibens in einem elektronenstrahllithographiegerät.
electron-detector diode biassing scheme for improved writing by an electron beam lithography machine.
Laatste Update: 2014-11-28
Gebruiksfrequentie: 2
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