Je was op zoek naar: interferometriesystemen (Duits - Frans)

kompensation periodischer fehler in interferometriesystemen
compensation d'erreur cyclique dans des systemes d'interferometrie

das interferometriesystem nach anspruch 1 wobei während einer operation das interferometer einen zweiten bezugsstrahl entlang eines zweiten bezugspfades und einen zweiten messungsstrahl entlang eines zweiten messungspfades lenkt, der das messobjekt kontaktiert, und den zweiten bezugsstrahl und den zweiten messungsstrahl kombiniert, um ein zweites paar von überlappenden ausgangsstrahlen zu erzeugen, das zweite paar von überlappenden ausgangsstrahlen Änderungen in der relativen optischen pfadlänge zu dem messobjekt anzeigt, wobei während einer operation das erfassungssystem polarisierungen des zweiten paars von überlappenden ausgangsstrahlen mischt, um einen zweiten gemischten strahl zu erzeugen, und eine zeitlich variierende intensität des zweiten gemischten strahls misst, und wobei während einer operation der analysator eine phase entsprechend der zeitlich variierenden intensität des zweiten gemischten strahls misst und die spektrale darstellung basierend auf den gemessenen phasen von jedem der gemischten strahlen für jeden von vielen werten der phasenverschiebung bestimmt.
système d'interférométrie selon la revendication 1, dans lequel pendant le fonctionnement l'interféromètre dirige un second faisceau de référence le long d'un second chemin de référence et un second faisceau de mesure le long d'un second chemin de mesure entrant en contact avec l'objet de mesure et combine le second faisceau de référence et le second faisceau de mesure pour produire un second couple de faisceaux de sortie se chevauchant, le second couple de faisceaux de sortie se chevauchant étant indicatif de changements de la longueur de chemin optique relative jusqu'à l'objet de mesure, dans lequel pendant le fonctionnement le système de détection mélange des polarisations du second couple de faisceaux de sortie se chevauchant pour produire un second faisceau mélangé et mesure une intensité variant dans le temps des seconds faisceaux mélangés, et dans lequel pendant le fonctionnement l'analyseur mesure une phase correspondant à l'intensité variant dans le temps du second faisceau mélangé et détermine la représentation spectrale sur la base des phases mesurées de chacun des faisceaux mélangés pour chacune des valeurs multiples du déphasage.