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durch mikromaterialbearbeitung hergestellter induktiver sensor
capteur inductif micro-usiné, notamment du dèplacement d un objet

aus silizium mittels mikromaterialbearbeitung hergestellter, flügelzellenartiger mikrodurchflussmesser
microdebitmetre a palette micro-usine dans le silicium

verfahren zur herstellung einer durch mikromaterialbearbeitung hergestellten geschichteten vorrichtung
procede de production d'un dispositif en couches micro-usine

aus silizium durch mikromaterialbearbeitung hergestellter beschleunigungsmesser mit integriertem elektrischem und mechanischem verpacken
accelerometres au silicium obtenus par micro-usinage avec conditionnement electrique et mecanique integre

verfahren nach anspruch 4, wobei es sich bei dem mikrofabrikationsverfahren um eine mikromaterialbearbeitung handelt.
procédé suivant la revendication 4, dans lequel le procédé de microfabrication est un micro-usinage de matériaux.

verstÄrkung eines durch mikromaterialbearbeitung hergestellten silizium-luftmassendurchflusssensors im gebiet seines heizelementes.
renforcement d'un capteur au silicium micro-usine pour ecoulement de masse d'air dans la region de son element chaud.

vorrichtung nach einem der ansprüche 1 bis 7, bei der der erste und/oder der zweite durchflußmengenregler eine mittels mikromaterialbearbeitung hergestellte drossel umfaßt.
dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel l'un au moins parmi le premier et le second régulateur d'écoulement comprend une restriction formée par micro-usinage.

dadurch können ultrakurze laserimpulse mit pulslängen insbesondere unterhalb von 20 ps, pulswiederholraten im bereich von 1000 hz - 10 mhz und pulsenergien im mj-bereich erzeugt werden, die bevorzugt im bereich der mikromaterialbearbeitung und in medizinischen bereichen anwendung finden können.
il est ainsi possible de produire des impulsions laser ultracourtes à longueur d'impulsion inférieure à 20 ps, à taux de répétition dans la plage de 1000 hz à 10 mhz et à énergie d'impulsion dans la plage des mj, qui peuvent être utilisées de préférence dans les domaines du traitement des micromatériaux et de la médecine.