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knowledge processing system structurizing tool.
werkzeug zum strukturieren eines wissensverarbeitungssystems.

link building, managing, structurizing, buying and selling software.
das ist die software für linkbuilding, -verwaltung, -strukturierung, links-einkauf und -verkauf.

process for structurizing a copper and/or permalloy layer by dry etching.
verfahren zum strukturieren einer kupfer- und/oder permalloyschicht mittels trockenätzen.

after varnishing of the bottom resist with a top resist containing silicon (see in this regard, for example, ep-os 0 395 917), structurizing exposure of the top resist at 248 nm using a mask, in such a manner that during development, resist lines of 2 to 0.5 μm occur, as well as expansion and/or silylation treatment (see in this regard: "proc. spie.," vol. 1262 (1990), pages 528 to 537) and structure transfer in the oxygen plasma, the silicon substrate is etched to a depth of 100 nm in cf.sub.4 plasma.
nach dem belacken des bottom-resists mit einem siliciumhaltigen top-resist (siehe dazu beispielsweise ep-os 0 395 917), der strukturierenden belichtung des top-resists bei 248 nm mittels einer maske in der weise, daß bei der entwicklung resistlinien von 2 bis 0,5 µm entstehen, sowie der aufweitungs- bzw. silylierungsbehandlung (siehe dazu: "proc. spie", vol. 1262 (1990), seiten 528 bis 537) und der strukturübertragung im sauerstoffplasma wird das siliciumsubstrat im cf₄-plasma bis zu einer tiefe von 100 nm geätzt.