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a preferred oxidized organosilane film is produced by reaction of methylsilane, ch3sih3, dimethylsilane,
un film organosilane ou organosiloxane oxydé préféré est produit par réaction de méthylsilane, ch3sih3, diméthylsilane,
a compound of the formula wherein x is selected from trimethylsilane or dimethylsilane and r 14 is a hydroxy protecting group.
composé de la formule dans laquelle x est choisi parmi le triméthylsilane ou le diméthylsilane et r 14 est un groupe hydroxy protecteur.
a process according to claim 1 where the low-boiling hydrosilane is selected from methylsilane or dimethylsilane.
procédé selon la revendication 1, dans lequel l'hydrogénosilane de bas point d'ébullition est choisi parmi le méthylsilane et le diméthylsilane.
the process according to claim 15, wherein said organic silanes include at least one of tetraethylsilane, tetramethylsilane and dimethylsilane.
procédé selon la revendication 15, dans lequel lesdits silanes organiques comprennent au moins l'un des tétraéthylsilane, tétraméthylsilane et diméthylsilane.
examples of silane compounds: phenylsilane, diphenylsilane, phenylmethylsilane, pentamethyldisiloxane, methylsilane, diethylsilane and dimethylsilane.
exemples de composés de silane: phénylsilane, diphénylsilane, phénylméthylsilane, pentaméthyldisiloxane, méthylsilane, diéthylsilane et diméthylsilane.
a process according to any one of the preceding claims, wherein the adjuvant is selected from methylsilane, dimethylsilane, phenylsilane and diphenylsilane.
procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'adjuvant est choisi parmi le méthylsilane, le diméthylsilane, le phénylsilane et le diphénylsilane.
preferred porous, low-dielectric sioc thin films are producted using di (formato) dimethylsilane as the organosilicon precursor.
des films minces de sioc poreux à faible constante diélectrique sont produits à l'aide de di (formato) diméthylsilane comme précurseur d'organosilicium.
the posology of the previous example is instituted with d.p.t.a complex (the dimethylsilane diol according to example 10).
la posologie de l'exemple précédent est instaurée avec le complex- d.t.p.a. - diméthylsilanediol selon l'exemple 10.
the method of claim 2, wherein the group iv compound is methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, triethylgermane, triphenylgermane, or triphenylstannane.
procédé suivant la revendication 2, dans lequel le composé du groupe iv est le méthylsilane, le diméthylsilane, le triméthylsilane, le diéthylsilane, le triéthylgermane, le triphénylgermane ou le triphénylstannane.
30 perfusions with e.d.t.a. complex (the dimethylsilane diol according to example 4) are carried out at a rate of two perfusions per week.
30 perfusions sont pratiquées à raison de deux par semaine de complexe e.d.t.a. - diméthylsilanediol selon l'exemple 4.
a process according to claim 3, characterized in that said alkylsilane is selected from the group consisting of octadecylsilane, octylsilane, hexylsilane, butylsilane, methylsilane, trimethylsilane, and dimethylsilane.
un procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que ledit alkylsilane est sélectionné à partir d'un groupe consistant en octadécylsilane, octylsilane, hexylsilane, butylsilane, méthylsilane, triméthylsilane et diméthylsilane.
new substituted bis(amino)dimethylsilanes ((r2n)2sime2), (amino)dimethylchlorosilanes (r2nsime2cl), and (amino)dimethylhydrosilanes (r2nsime2h) have been synthesized and characterized by nmr and ir.
on a synthétisé de nouveaux bis(amino)diméthylsilanes, (r2n)2sime2, (amino)diméthylchlorosilanes, r2nsime2cl, et (amino)diméthylhydrosilanes, r2nsime2h, que l'on a caractérisés par rmn et ir.