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, le module efem
, the efem

robot de montage foup pour efem semi-conducteur
foup mounting robot for semiconductor efem

l'espace est ainsi libéré entre le module efem et le sol de fabrication
thus, space is freed up between the efem and the fab floor

cela élimine la nécessité pour chaque composant efem de s'aligner relativement aux autres
this eliminates the need for each efem component to align with respect to each other

partageant une région propre entre le module efem et la station, un système de transport de plaquette unique
sharing a clean region between the efem and the station, a single wafer conveyor

les jambes verticales présentent également une référence commune avec laquelle les composants efem peuvent s'aligner
the vertical struts also provide a common reference that the efem components may align with

ce cadre sert de structure de montage commune que les composants du module efem peuvent utiliser comme référence à des fins d'alignement
the frame serves as a common mounting structure that the efem components may use as a reference for alignment purposes

un système est également fourni qui comprend le (efem) et la configuration de port de chargement de petit lot
a system also is provided that includes the (efem) and the small lot loadport configuration

ce module efem possède aussi un encombrement réduit, ce qui permet de monter ce module efem sur un élément frontal d'un outil de traitement sans déborder sur le sol de fabrication
the efem also has a reduced footprint, allowing the efem to mount to the front end of a processing tool and not extend to the fab floor

a titre d'exemple uniquement, on peut utiliser cet espace comme zone d'accès de maintenance de l'outil de traitement sans avoir préalablement à retirer le module efem.
by way of example only, this space may be used as a maintenance access area to the processing tool without having to first remove the efem.