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teilchenstrahl
faisceau électronique

teilchenstrahl-beschleuniger
accelerateur de faisceau de particules

geladenes teilchenstrahl-lithographiesystem
système de lithographie par faisceau de particules chargées

teilchenstrahl-raster-instrument
instrument à balayage d'un faisceau de particules

Überwachungstechnik fÜr einen teilchenstrahl
technique de surveillance d'un courant a faisceau de particules

wechselwirkung zwischen teilchenstrahl und plasma
interaction entre un faisceau de particules et un plasma

belichtungssystem fÜr parallel geladenen teilchenstrahl.
systeme d'exposition a faisceau de particules chargees en parallele.

zyklotron mit neuen teilchenstrahl-ablenkungsmitteln
cyclotron muni de nouveaux moyens d'inflexion du faisceau de particules

verfahren und auskopplungssysem für geladenen teilchenstrahl
procédé et système d'extraction d'un faisceau de particules chargées

gerät zur belichtung mittels geladenem teilchenstrahl
appareil d'exposition par faisceau de particules chargées

teilchenstrahl-therapiesystem und steuersystem für die teilchenstrahltherapie
système de thérapie par faisceau de particules und système de commande pour la thérapie par faisceau de particules

verfahren zur belichtung durch einen geladenen teilchenstrahl
méthode d'exposition à un faisceau de particules chargées

vorrichtung zur behandlung eines zielvolumens durch einen teilchenstrahl
dispositif de traitement d'un volume cible par un faisceau de particules

herstellungsverfahren für halbleitervorrichtungen und durchsichtige maske für den geladenen teilchenstrahl
méthode de fabrication de dispositifs semiconducteurs et masque transparent au faisceau de particules chargées

bestrahlungssystem mit geladenem teilchenstrahl und extraktionsverfahren für einen geladenen teilchenstrahl
système d'irradiation à faisceau par particules chargées et procédé d'extraction de faisceau par particules chargées

reflektionsmaske und eine solche reflektionsmaske verwendendes geladenes teilchenstrahl-belichtungsgerät
masque réfléchissant et appareil d'exposition par faisceau de particules chargées utilisant un tel masque réfléchissant

gerät zur belichtung mittels geladenem teilchenstrahl mit einer trägertisch-positionsmesseinrichtung
appareil d'exposition par faisceau de particules chargées avec un dispositif de mesure de position d'un support porte-objet

elektrostatische linsenanordnung für eine röhre mit geladenem teilchenstrahl und verfahren zu ihrem betrieb
arrangement de lentilles électrostatiques pour tube à faisceau de particules chargées et méthode d'utilisation de celui-ci

positioniervorrichtung, geladenen-teilchenstrahl-belichtungsvorrichtung und verfahren zur herstellung einer halbleitervorrichtung
dispositif de positionnement, appareil d'exposition par faisceau de particules chargé et procédé de fabrication d'un dispositif semiconducteur

reparatur von defekten auf fotomasken mit einem geladenen teilchenstrahl und topographische daten aus einem raster sondenmikroskop
reparation de defauts sur des photomasques a l'aide d'un faisceau de particules chargees et de donnees topographiques obtenues a partir d'un microscope-sonde a balayage