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verfahren zur herstellung von dünnschicht-volumenwellenvorrichtungen
method of producing thin-film bulk acoustic wave devices

akustische volumenwellenvorrichtungen, mit denen die unmittelbare aufbereitung von signalen bei einer frequenz größer als 6 ghz möglich ist,
bulk (volume) acoustic wave devices which permit the direct processing of signals at frequencies exceeding 6 ghz;

akustische volumenwellenvorrichtungen, d.h. „signaldatenverarbeitungs“-vorrichtungen, die akustisch-mechanische schwingungen verwenden, mit denen die unmittelbare aufbereitung von signalen bei einer frequenz größer als 2,5 ghz möglich ist,
bulk (volume) acoustic wave devices (i.e., "signal processing" devices employing elastic waves) which permit the direct processing of signals at frequencies exceeding 2,5 ghz;