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Вы искали: lösungsmittelversorgungsvorrichtung (Немецкий - Французский)

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Немецкий

Французский

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Немецкий

Eine Fallenvorrichtung zur Verwendung mit einer Vakuumprozesskammer (14) zum Prozessieren eines Substrats, wobei die Fallenvorrichtung stromabwärts bezüglich der Vakuumprozesskammer angeordnet ist und betriebsmäßig eine Komponente mit einem niedrigen Dampfdruck einfängt, die in einem Gas enthalten ist, das aus der Vakuumprozesskammer ausgegeben wird, wobei die Fallenvorrichtung Folgendes aufweist: einen Fallenbehälter (36) zum Aufnehmen des von der Vakuumprozesskammer ausgegebenen Gases; eine Lösungsmittelversorgungsvorrichtung (90) zum Liefern eines Lösungsmittels in den Fallenbehälter (36), wobei das Lösungsmittel einen flüssigen Zustand unter den Unterdruckbedingungen in dem Fallenbehälter beibehält, um zu erlauben, dass das Lösungsmittel die Komponente mit dem niedrigen Dampfdruck befeuchtet und einfängt; und eine Lösungsmittelkühlvorrichtung (72) zum Kühlen des Lösungsmittels zum Kondensieren der Komponente mit dem niedrigen Dampfdruck.

Французский

Appareil de piégeage pour une utilisation avec une chambre de traitement sous vide (14) permettant de traiter un substrat, ledit appareil de piégeage devant être disposé en aval de la chambre de traitement sous vide et devant fonctionner pour piéger un composant ayant une faible pression de vapeur contenu dans un gaz évacué par la chambre de traitement sous vide, ledit appareil de piégeage comprenant : • un conteneur de piégeage (36) permettant de recevoir le gaz évacué par la chambre de traitement sous vide ; • un dispositif d'alimentation en solvant (90) permettant de fournir un solvant audit conteneur de piégeage (36) qui maintient un état liquide sous vide dans le conteneur de piégeage pour permettre au solvant d'humidifier et de piéger le composant ayant la faible pression de vapeur ; et • un dispositif de refroidissement de solvant (72) permettant de refroidir le solvant pour condenser le composant ayant la faible pression de vapeur.

Последнее обновление: 2014-12-03
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Немецкий

Ein Verfahren zum Einfangen einer Komponente mit einem niedrigen Dampfdruck, die in einem Abgas von einer Prozesskammer zum Prozessieren eines Substrats enthalten ist, in einer Fallenvorrichtung (34), wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Liefern eines Lösungsmittels in einem Fallenbehälter (36) mittels einer Lösungsmittelversorgungsvorrichtung (90), wobei das Lösungsmittel einen flüssigen Zustand unter den Unterdruckbedingungen in dem Fallenbehälter beibehält, um zu ermöglichen, dass das Lösungsmittel die Komponente mit dem niedrigen Dampfdruck befeuchtet und einfängt; Kühlen des Lösungsmittels durch eine Kühlvorrichtung (72) zum Kondensieren der Komponente mit dem niedrigen Dampfdruck; und Einfangen der Komponente, die einen niedrigen Dampfdruck aufweist und in dem Gas enthalten ist mittels des flüssigen Lösungsmittels.

Французский

Procédé de piégeage permettant de piéger dans un appareil de piégeage (34) un composant ayant une faible pression de vapeur et compris dans un gaz émis par une chambre de traitement sous vide permettant de traiter un substrat, ledit procédé comprenant les étapes de : • fourniture d'un solvant dans un conteneur de piégeage (36) au moyen d'un dispositif d'alimentation en solvant (90), dans lequel le solvant maintient un état liquide sous vide dans le conteneur de piégeage pour permettre au solvant d'humidifier et de piéger le composant ayant la faible pression de vapeur ; • le refroidissement du solvant au moyen d'un dispositif de refroidissement (72) pour condenser le composant ayant la faible pression de vapeur ; et • le piégeage dudit composant ayant une faible pression de vapeur et contenu dans ledit gaz au moyen du solvant liquide.

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