Şunu aradınız:: auxliary supply neutral (İngilizce - Fransızca)

in the illustrated example, the building b, in which is erected a cryogenic unit 1 for the production of high purity nitrogen, of the type called hpn, or with a reservoir and evaporator for liquid nitrogen, conventionally used to supply neutral gas to utilization stations p.sub.i,comprises a first section r.sub.i with, in one room r.sub.11, an apparatus 2 for the generation in situ of phosphine (which is a dopant for silicon) producing at its outlet impure phosphine, under medium pressure, which can be analyzed by an analyzer 3 and which is sent to a purification device 4.
dans l'exemple représenté, le bâtiment b, à proximité duquel est érigée une unité cryogénique 1 de production d'azote de haute pureté, du type dit hpn ou à réservoir d'azote liquide et évaporateur, classiquement utilisé pour alimenter en gaz neutre les postes d'utilisation p i , comporte une première section r₁ avec, dans une pièce r₁₁, un appareil 2 de génération in situ de phosphine (qui est un dopant pour le silicium) produisant en sortie de la phosphine impure, à une moyenne pression, qui peut être analysée par un analyseur 3 et qui est adressée à un dispositif de purification 4.