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polierslurry
polishing slurry

polierslurry aus silika
a silica-based slurry

nach der herstellung der polierslurry wurden die wafer direkt poliert.
the wafers were polished immediately after the polishing slurry had been produced.

daher findet die polierslurry vom typ des kolloidalen siliciumdioxids eine zunehmende verbreitung.
therefore, the polishing slurry belonging to the colloidal silica category is becoming increasingly widespread.

in diesem versuch wurde eine polierslurry mit 10 vol.-% h o hergestellt.
comparative example 1 [0052] in this experiment, a polishing slurry comprising 10% by volume of h o was prepared.

der ph-wert der polierslurry betrug 11,0. die ergebnisse sind in tabelle 1 dargestellt.
the ph of the polishing slurry was 11.0. the results are given in table 1.

bewertungsmaßstab für die wirksamkeit von polierslurries sind eine reihe von größen, mit denen die wirkung der polierslurry charakterisiert wird.
[0012] a range of parameters which are used to characterize the effect of the polishing slurry are used as an assessment scale for the effectiveness of polishing slurries.

anschließend wird eine zweite polierslurry verwendet, um die endgültige ebene oberfläche mit dem blank polierten dielektrikum und den eingebetteten leiterbahnen herzustellen.
then, a second polishing slurry is used in order to produce the final planar surface with the brightly polished dielectric and the embedded interconnects.

zunächst wird eine polierslurry auf ein elastomeres poliertuch (pad) oder direkt auf die zu polierende wafer-oberfläche aufgetragen.
first of all, a polishing slurry is applied to an elastomeric polishing pad or directly to the wafer surface which is to be polished.

somit werden beim einsatz der polierslurry aus pyrogener kieselsäure defekte wie oberflächen-rauhigkeit und mikrokratzer auf der polierten halbleiter-oberfläche verursacht.
therefore, when using the polishing slurry comprising pyrogenic silica, defects such as surface roughness and microscratches are produced on the polished semiconductor surface.