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mehrfache ladungsschleuse
multiple load lock system

ladungsschleuse und wafertransportsysteme.
load-lock unit and wafer transfer system.

duale wafer ladungsschleuse
dual wafer load lock

ladungsschleuse mit äusserer ladungsgebiet
load-lock with external staging area

tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse
door drive mechanisms for substrate carrier and load lock

vorrichtung und verfahren für ladungsschleuse in der halbleiterfertigung
device and method for load locking for semiconductor processing

ladungsschleuse mit mikroumgebung und methode zur kupplung von einem mikroumgebungsbehälter mit einer prozesskammer.
micro-environment load lock and method for coupling a micro-environment container to a process chamber.