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isolationsgrabenstruktur

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verfahren zur herstellung einer isolationsgrabenstruktur mit verbundoxydschichten

Englisch

method of forming a trench isolation structure utilizing composite oxide films

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 2
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Deutsch

isolationsgrabenstruktur für integrierte schaltung und verfahren zur herstellung.

Englisch

trench isolation structure in an integrated circuit and method of formation.

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 2
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Deutsch

isolationsgrabenstruktur, hableiteranordnung mit solcher isolationsgrabenstruktur, und verfahren zur herstellung derselben

Englisch

trench isolation structure, semiconductor assembly comprising such a trench isolation, and method for forming such a trench isolation

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
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