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ladungsschleuse

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Alemão

Inglês

Informações

Alemão

mehrfache ladungsschleuse

Inglês

multiple load lock system

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

ladungsschleuse und wafertransportsysteme.

Inglês

load-lock unit and wafer transfer system.

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 4
Qualidade:

Alemão

duale wafer ladungsschleuse

Inglês

dual wafer load lock

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

ladungsschleuse mit äusserer ladungsgebiet

Inglês

load-lock with external staging area

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse

Inglês

door drive mechanisms for substrate carrier and load lock

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

vorrichtung und verfahren für ladungsschleuse in der halbleiterfertigung

Inglês

device and method for load locking for semiconductor processing

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
Qualidade:

Alemão

ladungsschleuse mit mikroumgebung und methode zur kupplung von einem mikroumgebungsbehälter mit einer prozesskammer.

Inglês

micro-environment load lock and method for coupling a micro-environment container to a process chamber.

Última atualização: 2014-11-28
Frequência de uso: 2
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